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IPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

用途: Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD

特點:

  1. iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能,適用于嚴(yán)苛制程

  2. 它優(yōu)良的性能源自於最短的轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計

  3. 漢鐘獨特型線設(shè)計,上海、臺灣製造

  4. 較之前的版本節(jié)能25%,配置有省電模式

  5. 帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積

  6. 優(yōu)化的尺寸,隨插即用


規(guī)格型號

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產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊

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產(chǎn)品外觀圖

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