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IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列

用途:Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho 、Implant

特點(diǎn):

  1. 綠色製造、全新系列幹式真空泵

  2. 體積小、耗工低、大幅度降低成本

  3. 用於中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵


規(guī)格型號

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產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊

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產(chǎn)品外觀圖

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